一种等离子体电极用碳化铪粉末、其制造方法、碳化铪烧结体和等离子体电极的发明专利

　摘要：等离子体电极用碳化铪粉末由化学式HfCx(其中x=0.5～1.0)表示。在碳化铪粉末中作为杂质包含的碳颗粒的含量为0.03质量%以下。碳化铪粉末的平均粒径优选为0.5～2μm。在制造碳化铪粉末时，首先将由氧化铪与碳的混合粉构成的粒料收纳在碳化硅制的第2坩埚内。之后，在将第2坩埚配置在碳制的第1坩埚内的状态下在1800～2000℃进行加热，由此生成碳化铪粉末。